愛德華羅茨泵EH系列

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▇ 英國愛德華真空泵

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愛德華羅茨泵EH系列

詳細描述：

愛德華真空泵/EDWARDS真空泵/愛德華羅茨真空泵

EH機械增壓泵以簡單的羅茨泵原理為基礎，仍是最受歡迎的泵，可用于壓力范圍為0.01至10 mbar、需要高抽速的應用場合。此泵必須始終由另一個提供相對于大氣壓的高壓差的泵作為前級。

機械增壓泵在相對較低的壓力下工作，不會暴露在與前級泵相同濃度的腐蝕性制程介質下，因此高度可靠。

應用

· 半導體制程

· 真空蒸餾

· 真空包裝

· 鋼脫氣

· 薄膜覆層

· 真空冶金

· 低密度風洞

· 空間模擬

· 真空浸漬

· 油干燥和脫氣

· 制藥冷凍干燥

· CO₂激光

功能和優勢

· 適用于在0.01至50 mbar/0.0075至37.5 Torr的壓力范圍下、需要超過3000 m³h^-1/1776 ft³min^-1的高抽速的應用場合。

· 它可在相對較低的壓力環境下表現出更高的可靠性。

· EH泵具有高質量的無油泵送機械裝置。這可提供：

· o 安靜的無振動運行。

· o 牢靠且防腐蝕。

· o 先進的軸封技術，處理艙中不會出現油污染

· 防腐型泵送機械裝置采用高等級鑄鐵制造。

· 經驗證的軸封布置可確保沒有油進入泵送定子，并且由于不需要可能腐蝕或黏著的內部和外部旁通管道及閥門，因此可將維護要求降到最低。

· 軸封的設計經過優化，可確保潤滑劑無法進入泵送機械裝置中。這可在需要最高標準清潔程度的應用中保持增壓泵性能。此外，這可防止在公差非常嚴格的轉子葉和端面上堆積吸入的微粒。

· 動態平衡的轉子和精密研磨齒輪有助于實現泵的平穩、運行噪音小，而這些特點正是先進技術設備的制造商所需要的。

技術數據

型號	EH250	EH500	EH1200	EH2600	EH4200
排量（工作容積）	310 m³h^-1/ 185 ft³min^-1	505 m³h^-1/ 300 ft³min^-1	1195 m³h^-1/ 715 ft³min^-1	2590 m³h^-1/ 1525 ft³min^-1	4140 m³h^-1/ 2440 ft³min^-1
使用前級泵時的有效抽速	240 m³h^-1/ 141 ft³min^-1	350 m³h^-1/ 206 ft³min^-1	840 m³h^-1/ 495 ft³min^-1	1750 m³h^-1/ 1031 ft³min^-1	3100 m³h^-1/ 1825 ft³min^-1
泵的壓力差	0-180 mbar/0-140 Torr	0-110 mbar/0-83 Torr	0-90 mbar/0-68 Torr	0-80 mbar/0-60 Torr	0-60 mbar / 0-45 Torr
進氣口連接	ISO63	ISO100	ISO160	ISO160	ISO250
出口連接	ISO40	ISO63	ISO100	ISO100	ISO100
轉速	0-2900 rpm	0-2900 rpm	0-2900 rpm	0-2900 rpm	0-2900 rpm
連續進氣口工作壓力	0-1000 mbar/0-760 Torr	0-1000 mbar/0-760 Torr	0-1000 mbar/0-760 Torr	0-1000 mbar/0-760 Torr	0-1000 mbar/0-760 Torr
最大出口壓力	1000 mbar/760 Torr	1000 mbar/760 Torr	1000 mbar/760 Torr	1000 mbar/760 Torr	1000 mbar/760 Torr
推薦的前級泵	GV80、E1M/E2M40、E1M/E2M80	GV80，E2M80	GV160、GV250、 E2M80、E2M175	GV250、GV400、 E2M175、E2M275	GV400、E2M275
電機功率
碳氫化合物	2.2 kW / 3 hp	2.2 kW/3 hp	3 kW/4 hp	11 kW/15 hp	11 kW/15 hp
PFPE	1.5 kW / 2 hp	1.5 kW/2 hp	3 kW/4 hp	7.5 kW/10 hp	11 kW/15 hp
ATEX	2.2 kW	2.2 kW	3 kW	11 kW	11 kW

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